一(yī)、産品簡介

光學(xué)薄膜的(de)物理(lǐ)厚度是薄膜最基本的(de)參數之一(yī)，它會影響整個器件的(de)最終性能，因此快速而精确地(dì)測量薄膜厚度具有(yǒu)重要的(de)意義。

随着計算機(jī)、CCD技術及微刻蝕技術的(de)發展，微型光譜儀成為(wèi)了實驗室光譜分析的(de)重要工具。我司數字光譜儀選用 Richardson 閃耀光栅，靈敏度提升 20%，雜散光降低(dī) 50%。同時，采用雙閃耀技術，搭載紫外敏化 CCD，第一(yī)次将有(yǒu)效波段拓展至 200~1100nm。而這一(yī)切都被放在了全新設計的(de) 72.5mm焦距 / 對稱 / 非交叉 C-T 光學(xué)平台之中。可(kě)達到最低(dī)0.1nm的(de)光譜分辨率；具有(yǒu)波長(cháng)探測範圍較寬，高(gāo)穩定性，可(kě)編程控制，設計緊湊，便于攜帶和(hé)測量等優勢，在光電檢測設備、環境檢測系統、色彩偵測管理(lǐ)、醫學(xué)檢測和(hé)光譜分析方面都有(yǒu)廣泛的(de)應用。

基于白光幹涉的(de)原理(lǐ)，利用我司微型數字光譜儀通過數學(xué)函數被可(kě)以比較精确的(de)計算出薄膜厚度。

二、知識點

白光幹涉、微型光譜儀、Y型光纖、透射光譜、反射光譜、光譜分辨率

三、涉及課程

光學(xué)、光電子(zǐ)技術、光電檢測、光譜分析、光譜應用技術

四、實驗內(nèi)容

1、了解白光幹涉原理(lǐ)

2、動手搭建薄膜測厚系統

3、測量不同樣品膜厚